原子級工藝實現納米級圖形結構的要求（二）
原子層刻蝕有助于減少這些隨機缺陷的影響。因為它在自限性步驟中逐層進行，而且因為工藝步驟將化學活性物質與高能離子相分離，因此原子層刻蝕不會產生傳統的刻蝕工藝中出現的粗糙的鑲邊層。更重要的是，原子層刻蝕與原子層沉積的重復循環，能夠降低EUV中隨機缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有較高的表面體積比，這就導致在原子層刻蝕的過程中凸面被整平，而在原子層沉積的過程中凹面被填充。不僅隨機缺陷非常小，而且在這一平整工藝過程中去除和沉積的層也非常薄，大約為半納米。事實表明，這一工藝降低了CER并提高了小尺寸孔的CD均勻度。同樣，它也降低了LER、改進了CDU，清除了細小的（小于10nm）線寬和距離中棘手的短路缺陷（圖 4）。圖 4． 左圖 – 黃色輪廓線表示EUV光刻技術中隨機變化引起的光刻膠中孔的局部不均勻。右圖 – 原子層刻蝕與原子層沉積重復循環能夠顯著降低光刻膠線的粗糙度。（Imec測試結構）自對準接觸孔刻蝕自對準接觸孔 （SAC......閱讀全文
原子級工藝實現納米級圖形結構的要求（二）
原子層刻蝕有助于減少這些隨機缺陷的影響。因為它在自限性步驟中逐層進行，而且因為工藝步驟將化學活性物質與高能離子相分離，因此原子層刻蝕不會產生傳統的刻蝕工藝中出現的粗糙的鑲邊層。更重要的是，原子層刻蝕與原子層沉積的重復循環，能夠降低EUV中隨機缺陷引起的粗糙度。凹凸表面比平面具有較高的表面體積比，這就
原子級工藝實現納米級圖形結構的要求（一）
原子層刻蝕和沉積工藝利用自限性反應，提供原子級控制。泛林集團先進技術發展事業部公司副總裁潘陽博士分享了他對這個話題的看法。圖 1． 原子層工藝中的所有半周期反應是自限性反應。技術節點的每次進步都要求對制造工藝變化進行更嚴格的控制。最先進的工藝現在可以達到僅7 nm的fin寬度，比30個硅原子
上海納米級等離子工藝研討會預告
上海納米級等離子工藝研討會預告 2012年3月19日 本次研討會將于Semicon2012開幕的前一天召開，我們在此誠意邀請工業界、學術界對微納米及發光二極管等離子技術的發展趨勢及設備制造與應用感興趣的同行先進參加。 牛津儀器的外方應用專家及國內知名機構的用戶將出席并發言。 本
納米級量子傳感器實現高清成像
日本東京大學科學家最近利用六方氮化硼二維層中的硼空位，首次完成了在納米級排列量子傳感器的精細任務，從而能夠檢測磁場中的極小變化，實現了高分辨率磁場成像。氮化硼是一種含有氮和硼原子的薄晶體材料。氮化硼晶格中人工產生的自旋缺陷適合作為傳感器。（a）六方氮化硼中的硼空位缺陷。空位充當用于磁場測量的原子大小
納米級量子傳感器實現高清成像
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/6/502959.shtm日本東京大學科學家最近利用六方氮化硼二維層中的硼空位，首次完成了在納米級排列量子傳感器的精細任務，從而能夠檢測磁場中的極小變化，實現了高分辨率磁場成像。氮化硼是一種含有氮和硼原子的薄晶
《自然》：美實現用納米級電線搭建可用于計算的電路
一項最新研究說，美國研究人員實現采用納米級電線搭建可用于計算的電路，通過這種技術得到的電路板具有節能等方面優勢。 新一期英國《自然》雜志刊登研究報告說，目前生產電路板時，一般是先根據設計圖做出模板，然后采取蝕刻等方式，像印刷圖書一樣在整塊半導體芯片上印制出電路。而美國哈佛大學等機構研
中國科大實現納米級空間分辨電磁場量子傳感
中國科學院院士、中國科學技術大學教授郭光燦團隊在實用化量子傳感的研究中取得新進展，該團隊的孫方穩小組實驗實現50納米空間分辨力高精度多功能量子傳感。該系列研究成果發表于應用物理期刊Physical Review Applied 。 微納光電子技術已經成為當前信息領域的核心技術之一，同時也在能源
中國科大實現納米級空間分辨電磁場量子傳感
中國科大郭光燦院士團隊在實用化量子傳感的研究中取得重要進展，該團隊的孫方穩小組實驗實現50納米空間分辨力高精度多功能量子傳感。該系列研究成果發表在應用物理權威期刊《Physical Review Applied》上。 微納光電子技術已經成為當前信息領域的核心技術之一，同時也在能源、環境、生物醫
低溫PECVD法形成納米級介質膜微觀結構研究
采用俄歇電子能譜 ( AES)和傅里葉紅外光譜 ( FTIR)分析低溫 PECVD法形成納米級 Si Ox Ny 介質膜的微觀組分結構及其與制膜工藝間關系 ,通過橢圓偏振技術測試該薄膜的物理光學性能。研究結果表明 :該介質膜中氮、氧等元素均勻分布 ,界面處元素含量變化激烈 ;高、低反應氣壓變化對膜內
二級結構預測的
中文名稱二級結構預測英文名稱secondary structure prediction定 義預測大分子(核酸、蛋白質)可能具有的二級結構。現在已有多種計算機軟件可以進行這類預測，如nnPREDICT、ZPRED Server等。應用學科生物化學與分子生物學（一級學科），方法與技術（二級學科）
蛋白質的二級結構與超二級結構結構的組裝塊
一、蛋白質的二級結構 蛋白質在細胞中必須通過詳細的三維結構識別成千上萬種的不同分子，這就需要蛋白質分子具有結構多樣性。蛋白質結構研究得出的第一個重要的基本規律是水溶性球狀蛋白質分子折疊的重要驅動力，它是將疏水側鏈置于分子內部，產生一個"疏水內核"和一個親水表面。為了把側鏈放到分子內部去，相應的高度
高鴻鈞團隊利用STM實現石墨烯納米結構原子級的可控折疊
探索新型低維碳納米材料及其新奇物性一直是當今科技領域的前沿科學問題之一。二維的石墨烯晶格結構被認為是其他眾多的碳納米結構的母體材料。例如，將石墨烯結構沿著某一方向卷曲可以形成一維的碳納米管，將具有五元環和七元環石墨烯結構彎曲成球型結構即可形成富勒烯。石墨烯在未來納米學器件的應用，需要構筑具有三維
【技術解析】GPU如何實現三維渲染及非圖形計算？（二）
視圖（Viewport，或者視口）變換 現在的實時渲染場景中包含的對象（模型）可以有很多個，但是只有被攝像機（或者說觀察者，也即是設定的視角覆蓋）的區域才會被渲染。這個攝像機在世界空間里有一個用來擺放的位置和面向的方向。 為了實現接下來的投影、裁剪處理，攝像機和模型都需要進行視圖
納米級光學結構揭示2億年前昆蟲的真實顏色
通常化石只能保存生物的結構，對其顏色幾乎都是靠想象。然而，來自中、德和英三國的科學家們通過對昆蟲化石中結構色的研究，卻揭示了2億年前昆蟲的“真實顏色”。該研究成果將于4月12日在線發表于美國《科學》（Science）雜志子刊《科學進展》（Science Advances）。侏羅紀蛾類（A-I）和
DNA的二級結構介紹
DNA的二級結構是指兩條多核苷酸鏈反向平行盤繞所生成的雙螺旋結構。兩條多核苷酸鏈以相同的旋轉繞同一個公共軸形成右手雙螺旋，螺旋的直徑2.0nm；兩條多核苷酸鏈是反向平行的，一條5’-3方向，另一條3’-5’方向；兩條多核苷酸鏈的糖-磷酸骨架位于雙螺旋外側，堿基平面位于鏈的內側；相鄰堿基對之間的軸向距
熱掃描探針光刻技術消除二維半導體材料
?? 二維半導體材料，比如二硫化鉬（MoS2），表現出了諸多新奇的特性，從而使其具有應用于新型電子器件領域的潛力。目前，研究人員常用電子束光刻的方法，在此類僅若干原子層厚的材料表面定域制備圖形化電極，從而研究其電學特性。然而，采用此類方法常遇到的問題之一是二維半導體材料與金屬電極之間為非歐姆接觸，且
tRNA二級結構特點
tRNA的二級結構為三葉草結構，其結構特征為： (1)tRNA的二級結構由四臂、四環組成，已配對的片斷稱為臂，未配對的片斷稱為環。 (2)葉柄是氨基酸臂，其上含有CCA-OH3’，此結構是接受氨基酸的位置。 (3)氨基酸臂對面是反密碼子環，在它的中部含有三個相鄰堿基組成的反密碼子，可與mRNA
納米級孔徑透析袋介紹
根據美國spectrumlabs公司的測試數據表（下圖）?? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? （圖一）1nm-70nm目前透析袋相關廠家能提供幾十款不能截留分子量的透析袋例如spectrumlabs的截留分子量（MWCO）100-500道爾頓
“DNA折疊術”正迅速走向應用－制造納米級的結構和機器
科學家設想的通過編程，讓形狀互補DNA零件自行組裝成納米機器。 最近，德國慕尼黑工業大學創造出了一些新型納米設備：一個會動手臂的機器人，一本能打開、合上的書，一個能開關的齒輪傳動裝置，還有一個促動器——或許這些已經很吸引人了，但還不是重點。重要的是這些設備體現了科學上的突破——把DNA作為一種可編
我國科學家首次獲得納米級光雕刻三維結構
14日夜，國際頂級學術期刊《自然》發表了我國科學家在下一代光電芯片制造領域的重大突破。南京大學張勇、肖敏、祝世寧領銜的科研團隊，發明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術，將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內部，通過控制激光移動的方向，在晶體內部形成有效電場，實現三維結構的直寫和擦除。這一
首次建立－納米級角度國家一級標準物質
近日，市場監管總局新批準二維鉻納米柵格標準物質、二維硅納米柵格標準物質、一維硅納米光柵標準物質3項國家一級標準物質，能夠同時滿足納米制造產業角度和長度校準需求，為新一代信息技術、新材料、生物制造、高端裝備等領域的納米制造提供精準“標尺”。納米制造，測量先行。研制高精度的納米級標準物質，是打造高準確度
結合盤式光學諧振器與PTIR技術，AFM實現納米級精確測量
大多數測量儀器都受制于測量精度和測量速度之間的權衡，因為測量越精確，所需的時間就越長。可是，納米尺度上出現的許多現象既快又小，因此，針對它們的測量系統必須能夠在時間和空間上捕捉到它們的精確細節。上圖為與光學諧振器集成的納米級原子力顯微鏡(AFM)探針的彩色電子顯微照片，這種盤式光學諧振器擴展了A
美開發出超快納米級發光二極管
據美國物理學家組織網11月16日（北京時間）報道，斯坦福大學工程學院的研究團隊研發出一種超快的納米級發光二極管（LED），能夠以每秒100億比特的速度傳輸數據，并比當前以激光為基礎的系統裝置能耗更低。研究人員表示，這是為芯片上的計算機數據傳輸提供超快、低能耗光源的重要步驟。相關研究報告發表在15
什么是DNA的二級結構？
DNA的二級結構是指兩條多核苷酸鏈反向平行盤繞所生成的雙螺旋結構。通常情況下，DNA的二級結構分兩大類：一類是右手螺旋，如A-DNA和B-DNA，DNA通常是以右手螺旋形式存在的；另一類是左手螺旋，即Z-DNA。
簡述轉移核糖核酸的一級結構和二級結構
一級結構 自1965年R．W．霍利等首次測出酵母丙氨酸tRNA的一級結構即核苷酸排列順序到1983年已有200多個tRNA（包括不同生物來源、不同器官、細胞器的同功受體tRNA以及校正tRNA）的一級結構被闡明。按照A－U、G－C以及G－U堿基配對原則,除個別例外, 二級結構 tRNA分子
納米級砂磨機必須具備的條件
1、零污染條件 基于砂磨機的分散機理，當微珠在撞擊和摩擦固體顆粒的同時對粉碎腔體及腔體內的攪拌裝置的磨損破壞強度也是很大的，所以要保證腔體及攪拌組件的材料必須有超高的耐磨耗性能；否則因其磨損而污染了原料，不僅造成設備使用壽命很短，更重要的是該污染源造成所分散的原料再次團聚從而無法達到納米級
納米級砂磨機必須具備的條件
1、零污染條件基于砂磨機的分散機理，當微珠在撞擊和摩擦固體顆粒的同時對粉碎腔體及腔體內的攪拌裝置的磨損破壞強度也是很大的，所以要保證腔體及攪拌組件的材料必須有超高的耐磨耗性能；否則因其磨損而污染了原料，不僅造成設備使用壽命很短，更重要的是該污染源造成所分散的原料再次團聚從而無法達到納米級細度及正態分
DNA二級結構構型種類
①B型DNA（右手雙螺旋DNA），是“經典”的Watson-Crick結構，二級結構相對穩定，水溶液和細胞內天然DNA大多為B型DNA；②A型DNA（右手雙螺旋DNA），是一般B型DNA的重要變構形式，其分子形狀與RNA的雙鏈區和DNA/RNA雜交分子很相近；③Z型DNA（左手雙螺旋DNA），也是B
DNA二級結構構型分類
①B型DNA（右手雙螺旋DNA），是“經典”的Watson-Crick結構，二級結構相對穩定，水溶液和細胞內天然DNA大多為B型DNA；②A型DNA（右手雙螺旋DNA），是一般B型DNA的重要變構形式，其分子形狀與RNA的雙鏈區和DNA/RNA雜交分子很相近；③Z型DNA（左手雙螺旋DNA），也是B
納米級磁共振成像儀“出世”
美國IBMIBM公司研究中心和斯坦福大學納米探索中心的科學家們共同開發出一種磁共振成像儀(MRI)，其分辨率要比常規MRI高出1億倍。發表在《美國國家科學院院報》的這項研究成果，標志著為在納米級研究復雜3D結構提供分子生物學和納米技術工具方面邁出了重大一步。 通過將MRI的分辨率擴展到如此