SPEES針尖參數對樣品表面電子出射影響的模擬研究

報道了對掃描探針電子能譜儀(SPEES)中俄歇電子出射的理論模擬研究。通過對俄歇電子在針尖電場作用下運動軌跡的模擬以及綜合考慮從針尖場發射電子到俄歇電子出射全過程中各種因素的影響,系統研究了針尖形狀、針尖偏壓和針尖-樣品距離對俄歇電子出射效率的影響,以及出射俄歇電子束流密度在針尖電場區邊緣處的分布。研究結果為提高SPEES的收集效率、空間分辨以及能量分辨提供了重要的參考數據。