為了更好理解樣品在通過等離子體源的時候發生了什么，所以需要先了解一些放電區域的不同溫度。
等離子體不同溫度區域
從上圖等離子體的橫截面可以大致看出不同區域的溫度。樣品經進樣系統進入到霧室形成樣品氣溶膠。氣溶膠以一定速率進行運動，會撞擊形成孔洞通過等離子放電中心。在氣溶膠于分析區(analytical zone)最終形成正電荷離子之前，從預熱區(preheating zone)開始，而后繼續經過輻射區(radiation zone)，發生一些列的物理變化。
簡單點說，可以假設元素以痕量金屬鹽的形式存在于溶液。 第一步：液滴脫溶劑。隨著水分子的去除，金屬鹽會形成非常小的固體顆粒； 第二步：基態原子形成。當樣品進一步移動至等離子體中，固體顆粒首先形成氣態形式，然后變成基態原子； 第三步：電離。通過活潑氬電子（還有少部分氬氣離子）的碰撞，最終將基態原子轉變成離子； 第四步：傳輸。離子從等離子體中暴露出來，直接進入質譜接口。 以上就是Thomas前輩對ICPMS中元素如何離子化的詮釋。
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