納米TiO2薄膜表面微區分析的研究進展

在簡要介紹納米TiO₂功能薄膜各種制備技術的基礎上,著重對近年來研究TiO₂薄膜及其復合薄膜采用的微區分析技術及應用研究進展進行了綜述,并比較了各種微區分析技術的優缺點。