屬于影像測量儀的原理誤差的是：CCD攝像頭畸變產生的誤差、測量方法不同而產生的誤差。攝像機的制造和工藝等原因，入射光線在通過各個透鏡時的折射誤差和CD點陣位置誤差等，光學系統存在著非線性的幾何失真，使得目標像點與理論像點之間存在多種類型的幾何畸變：徑向畸變、偏心畸變、薄棱鏡畸變等，并且徑向畸變較大，切向畸變和薄棱鏡畸變較小，且圖像中心區域畸變很小，邊緣畸變大。使用高質量鏡頭可以減少畸變誤差的影響，但在精密測量中需要考慮到畸變的影響 對測量結果進行修正。
測量方法不同而產生的誤差主要指不同圖像處理技術帶來的識別、量化誤差。圖像的邊緣是圖像的基本特征，是物體的輪廓或物體不同表面之間的交界在圖像中的反映。邊緣輪廓是人類識別物體形狀的重要因素，也是圖像處理中重要的處理對象。在圖像處理的過程中需要進行邊緣提取，而數字圖像處理技術中邊緣提取有很多不同的方法，選用不同的提取方法會對同一個被測件的邊緣位置產生不小的變化，因此會對最后的測量結果產生影響，如測量某一圓形工件的半徑和圓心的時候，當圓的輪廓發生變化時，它的半徑值和圓心位置就會相應的發生變化。由此可知，在圖像處理的過程中圖像處理算法對儀器的測量精度有著十分重要的影響，是影像測量所關注的焦點問題。