ICP發射光譜法包括了三個主要的過程，即：
由 plasma 提供能量使樣品溶液蒸發、形成氣態原子、并進一步使氣態原子激發而產生光輻射；
將光源發出的復合光經單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成光譜；
用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強度。
由于待測元素原子的能級結構不同，因此發射譜線的特征不同， 據此可對樣品進行定性分析；
而根據待測元素原子的濃度不同，因此發射強度不同，可實現元素的定量測定。
