多功能X射線光電子能譜儀是一種用于物理學、生物學、基礎醫學、臨床醫學領域的分析儀器，于2018年1月22日啟用。
技術指標
1. 分析室真空度：5×10-10 mbar
2. 最佳能量分辨率：0.43eV
3. 最小空間分辨率：1μm
4. Ag的3d5/2峰半峰寬為1eV時電子計數率可達4Mcps
5. 檢測器： 雙探測器設計，分別采用多通道電子倍增器進行獲譜，采用二維微通道版探測器進行快速水平成像。
6. 帶有紫外光電子能譜功能，當能量分辨率為100meV時，靈敏度可達1,000,000cps。
主要功能
X射線光電子能譜儀可提供富有特色的表面分析手段。主要可用來對材料表面10nm范圍內的元素及元素的化學態進行定性定量表征，并通過深度剖析的方法可以實現對材料在深度方向的化學組分分布進行研究。