儀器類別： 0304070201 /儀器儀表 /光學儀器 /電子光學及離子光學儀器 /掃描式電子顯微鏡
指標信息： 二次電子成像，背散射成像，陰極熒光成像；分辨率：高真空：30KV時，為1.5nm；
1KV時，為3nm； X射線能譜分析：能量分辨150eV；元素分析范圍B－U；高性能陰極熒光：具有對特定波長光譜分析與成像（指定波長光譜面分布）的能力，波長分辨率優于30nm，測試的波長范圍是200nm－900nm。
附件信息： 冷卻臺、加熱臺、X射線能譜、高性能陰極熒光探頭等附件。,
