反滲透超純水設備將離子交換樹脂充夾在陰/陽離子交換膜之間形成EDI單元。 EDI組件中將一定數量的EDI單元間用網狀物隔開，形成濃水室。又在單元組兩端設置陰/陽電極。在直流電的推動下，通過淡水室水流中的陰陽離子分別穿過陰陽離子交換膜進入到濃水室而在淡水室中去除。而通過濃水室的水將離子帶出系統，成為濃水。
反滲透超純水設備一般以反滲透(RO)純水作為EDI給水。RO純水電阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。EDI純水電阻率可以高達18 MΩ.cm(25℃)，但是根據去離子水用途和系統配置設置，EDI純水適用于制備電阻率要求在1-18.2MΩ.cm(25℃)的純水。
超純水制造歷史進程
第一階段：預處理——>陽床——>陰床——>混合床
第二階段：預處理——>反滲透——>混合床
目前階段：預處理——>反滲透——>EDI(無需酸堿)
傳統的離子交換已經越來越無法滿足現代工業和環保的需要，于是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電，而不再需要酸堿，因而更滿足于當今世界的環保要求。
自從EDI 膜堆技術工業化以來，全世界已安裝了數千套EDI 系統，尤其在制藥、半導體、電力和表面清洗等工業中得到了大力的發展，同時在廢水處理、飲料及微生物等領域也得到廣泛使用。EDI 裝置是應用在反滲透系統之后，取代傳統的混合離子交換技術(MB-DI)生產穩定的去離子水。
EDI技術與混合離子交換技術相比有如下優點：
1.水質穩定
2.容易實現全自動控制
3.不會因再生而停機
4.不需化學再生
5.運行費用低
6.廠房面積小
7.無污水排放。
反滲透超純水設備可以應用到電子行業、微電子行業、醫療行業和所有應用到超純水的行業。尤其是在電子清洗行業中應用更多。