又一國家重大儀器項目通過驗收

　　國家自然科學基金國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”驗收會在微電子所召開。基金委副主任陸建華，基金委信息科學部主任郝躍、常務副主任張兆田、副主任何杰，中科院副院長李樹深，條財局副局長曹凝，微電子所黨委書記、副所長（主持工作）戴博偉，微電子所副所長王文武，黨委副書記、紀委書記趙志剛，中國科學院江風益院士、吳德馨院士、劉明院士、張躍院士、彭練矛院士及項目組成員共80余人參加會議。

　　該項目由微電子所牽頭承擔。項目組提出并發明了電場調控原子層沉積技術（E-PEALD），率先實現了RHEED原位實時原子層沉積材料的動態測量與分析，研發出晶圓級MoS2二維材料，制備了MoS2晶體管及邏輯電路，完成了低溫石墨烯制備及納米修飾，實現了國際領先水平的碳基彈道輸運晶體管。為北方華創公司提供ALD原理及關鍵腔室設計和制備，為解決集成電路高K介質制備等難題提供了關鍵技術支撐；相關技術形成了ALD品牌產品，銷售200余臺，支持了中微子探測等多項關鍵重大科學研究；促進了北京碳基集成電路研究院建設。

　　驗收專家組由22位技術、財務、檔案專家組成，江風益院士任組長。驗收會上，專家組聽取了項目負責人夏洋研究員的結題匯報、監理組監理情況匯報、儀器測試報告、財務驗收意見、檔案驗收意見，就相關問題進行了質詢和討論，現場考察了研制儀器設備運行情況。

　　驗收專家組一致認為，該項目完成了資助項目計劃書規定的全部任務，實現了儀器的全部技術指標，達到了預期目標；研制工作取得了豐碩的成果，攻克了電場調控原子層沉積二維材料生長、器件制備和原位分析等關鍵技術，碳基材料、MoS2等二維材料及器件指標達到國際領先水平；儀器整機達到國際先進水平，具有獨創性。

基金委副主任陸建華講話

項目負責人夏洋做總結報告

專家組現場考察

與會人員合影