關于離子探針質量顯微分析儀的簡介

　　離子探針質量顯微分析儀（ion microprobemass analyzer）,以聚焦很細（1～2 微米）的高能（10～20 千電子伏）一次離子束作為激發源照射樣品表面，使其濺射出二次離子并引入質量分析器，按照質量與電荷之比進行質譜分析的高靈敏度微區成分分析儀器，簡稱離子探針。