電子能譜儀是利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系,由此來判斷樣品表面各種元素含量的儀器。電子能譜儀可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素,還可研究原子的狀態、原子周圍的狀況及分子結構,在表面化學分析、分子結構、催化劑、新材料等研究領域中已得到應用。